电子半导体净化车间维护

设计条件（设计参数）：洁净车间温度要求20℃~25℃；湿度要求45%~65%;洁净要求10000级。厂房平面布置：空调末端采用---过滤器；洁净空调机设在模条房，楼板承重必须符合设备运行负荷要求。a、洁净区域：洁净车间洁净度1万级面积约110m2；洁净前区设人员换鞋区、更衣室、风淋室等，隔离外界污染。洁净区人员流动方向：换鞋、一次更衣---风淋室---洁净车间。在净化车间设安全门，便---人员疏散。(进入风淋室前需作一道空气过滤)洁净区物料流动方向：传递窗---洁净车间---传递窗---其它工序；b、其它区域：由甲方自行负责，不在本设计方案范围内。

集成电路产品比如存储芯片的成本价格、竞争实力和工艺技术息息相关，洁净室工程作为项目建设、投产过程中的的环节，属于生产辅助性工程，直接和投资相关，不受限于技术瓶颈，即使我国在制造工艺上尚存在差距，但是洁净室工程行业不受影响，获益于我国半导体产业的发展。洁净室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害气体、---等污染物排除，并将室内的温度、湿度、洁净度、压力、气流速度与气流流向、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予---设计的空间。洁净室的主要原理即利用流体力学的相关性质来控制室内污染源。